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작성자 최고관리자 댓글댓글 0건 조회조회 1,739회 작성일작성일 23-12-21 18:46본문
클린룸 와이퍼를 선택할 때는 일반적으로 재질(Material), 크기(Size), 멸균 여부(Sterility)를 가장 먼저 고려합니다.
하지만 와이퍼의 성능에 큰 영향을 미치는 요소 중 하나가 바로 가장자리(Edge) 가공 방식입니다.
와이퍼의 가장자리가 어떻게 마감되었는지는 사용 중 발생하는 입자(Particles)와 섬유(Fibers)의 양을 결정하는 중요한 요소입니다.
클린룸에서는 이러한 차이가 청정도를 안정적으로 유지하는 것과 오염(Contamination)이 발생하는 것의 차이를 만들 수 있습니다.
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Edge Type |
가공 방식 |
Particle/Fiber 발생 |
권장 ISO Class |
주요 특징 |
Cut Edge |
원단을 칼(Knife)로 절단 |
★★★ |
ISO 6~8 |
경제적, 일반 청소용 |
Sealed Edge |
레이저(Laser)로 절단과 동시에 가장자리를 융착 |
★★ |
ISO 5~7 |
Low lint, 파티클 감소, 장비 및 표면 세척 |
Sealed Border |
가장자리 전체를 넓게 열융착하여 테두리를 형성 |
★ |
ISO 3~5 |
최고 수준의 오염 제어, 반도체·무균 공정용 |
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